射线波长略大于0.5纳米的被称作软射线。波长短于0.1纳米的叫做硬射线。硬射线与波长长的(低能量)伽马射线范围(fàn wéi)重叠，二者的区别在于辐射(Radiation)源，而不是波长：射线光子产生于高能电子加速，伽马射线则来源于原子核衰变。
产生射线的最简单方法是用加速后的电子撞击金属靶。撞击过程(guò chéng)中，电子突然减速，其损失（loss)的动能会以光子形式放出，形成光光谱的连续（Continuity)部分，称之为制动辐射(Radiation)。通过(tōng guò)加大加速电压，电子携带的能量增大，则有可能（maybe)将金属原子（metallic element）的内层电子撞出。于是内层形成空穴(Electron hole)，外层电子跃迁回内层填补空穴(Electron hole)，同时放出波长在0.1纳米左右的光子。由于外层电子跃迁放出的能量是量子化的，所以放出的光子的波长也集中在某些部分，形成了光谱中的特征线，此称为特性辐射(Radiation)。
此外，强度（strength)特别高的的射线亦可由同步加速器或自由电子雷射产生。同步辐射(Radiation)光源，具有强度（strength)特别高的、连续（Continuity)波长、光束准直、极小的光束截面积并具有时间脉波性与偏振性，因而成为科学研究（research)最佳之光光源。