超声(Ultrasonic)波（是一种频率高于20000赫兹的声波）探头(Probe)配置方案一
探头(Probe)类型
频率(frequency)（MHz）
晶片/角度（angle)/聚焦(Focused)
说明
直探头
2.5MHz
Φ20mm
粗晶材料(Material)，大厚度工件检测
5MHz
Φ20mm
常规检测(检查并测试)
双晶直探头(Probe)
2.5MHz
Φ20/F15mm
粗晶薄件材料检测
5MHz
Φ20/F10mm
薄件材料(Material)检测(检查并测试)
斜探头(Probe)
2.5MHz
9×9mm
45°/60°/70°各一个
或K1/K2/K2.5各一个
(二组选一)
超声(Ultrasonic)波（是一种频率高于20000赫兹的声波）探头(Probe)配置方案二
探头(Probe)类型
频率(frequency)（MHz）
晶片/角度（angle)/聚焦(Focused)
说明
直探头
1MHz
Φ20mm
粗晶材料，大厚度工件检测(检查并测试)
2.5MHz
Φ20mm
粗晶材料，大厚度工件(Workpiece)检测
5MHz
Φ20mm
常规检测(检查并测试)
双晶直探头
2.5MHz
Φ20/F15mm
粗晶薄件材料(Material)检测
5MHz
Φ20/F10mm
薄件材料(Material)检测(检查并测试)
斜探头(Probe)
5MHz
6×6
K2
5MHz
9×9
45°/60°/70°各一个
或K1/K2/K2.5各一个
(二组选一)
2.5MHz
9×9
45°/60°/70°各一个
或K1/K2/K2.5各一个
(二组选一)
2.5MHz
13×13
45°/60°/70°各一个
或K1/K2/K2.5各一个
(二组选一)
超声(Ultrasonic)波探头(Probe)配置方案(fāng àn)三
探头类型
频率（MHz）
晶片/角度（angle)/聚焦(Focused)
说明
直探头(Probe)
1MHz
Φ20mm
粗晶材料(Material)，大厚度工件(Workpiece)检测(检查并测试)
2.5MHz
Φ10mm
粗晶材料，大厚度工件检测
2.5MHz
Φ20mm
粗晶材料(Material)，大厚度工件(Workpiece)检测(检查并测试)
5MHz
Φ10mm
常规检测(检查并测试)
5MHz
Φ20mm
常规检测
双晶直探头(Probe)
2.5MHz
Φ20/F15mm
粗晶薄件材料(Material)检测(检查并测试)
2.5MHz
Φ20/F30mm
粗晶薄件材料(Material)检测(检查并测试)
5MHz
Φ20/F10mm
薄件材料(Material)检测
5MHz
Φ20/F20mm
薄件材料(Material)检测
斜探头(Probe)
5MHz
6×6
K2/K2.5各一个
5MHz
9×9
45°/60°/70°各一个
或K1/K2/K2.5各一个
(二组选一)
2.5MHz
9×9
45°/60°/70°各一个
或K1/K2/K2.5各一个
(二组选一)
2.5MHz
13×13
45°/60°/70°各一个
或K1/K2/K2.5各一个
(二组选一)
高频探头(Probe)
15
Φ6mm
高精度测厚，超薄件检测(检查并测试)